温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种直拉单晶炉加热装置及其工作方法、直拉单晶炉，属于半导体制造技术领域。直拉单晶炉加热装置，应用于直拉单晶炉，所述直拉单晶炉包括炉体，所述炉体内设置有坩埚，所述直拉单晶炉加热装置包括：设置在所述炉体的内壁和所述坩埚的外周之间的多...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。