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本发明属于磁控溅射领域，具体涉及一种可控生长纳米银薄膜的超高真空磁控装置。本发明针对现有技术的不足，做了创新。共设计有四个靶材的位置，并且四个靶材之间有不锈钢隔板隔开，防止其中一个靶材在工作的时候，溅射的粒子会污染其他三个靶材；每个靶材配备...
该专利属于苏州城市学院所有，仅供学习研究参考，未经过苏州城市学院授权不得商用。

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