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一种硅棒孪晶检测方法及检测系统技术方案
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下载一种硅棒孪晶检测方法及检测系统的技术资料
文档序号:40702099
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本申请涉及硅棒缺陷检测技术领域且公开了一种硅棒孪晶检测方法及检测系统,所述硅棒孪晶检测方法包括:获取硅棒的晶线信息,判断是否存在晶线断线位置;响应于存在晶线断线位置,检测所述晶线断线位置对应的所述硅棒的内部位置是否存在贯穿型分界线;响应于不...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。
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