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本技术公开了一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置，包括显微成像单元，用于将待检测芯片反射成像得到图像，并获取调节指令进行光线调节直至获取到高精度测量图像；计算机控制单元，用于获取图像分析明暗信息，计算误差后进行输出或上传调节指令；所述显微...
该专利属于奈米科学仪器设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奈米科学仪器设备（上海）有限公司授权不得商用。

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