下载一种阈值电压调整方法、湿法刻蚀方法及金属氧化物器件的技术资料

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本发明属于集成电路加工工艺技术领域,尤其涉及一种阈值电压调整方法、湿法刻蚀方法及金属氧化物器件;于共存有中压第二阈值区(120)MV和/或高压第三阈值区(130)HV的目标器件(010),以湿法刻蚀WE(WET ETCH)对低压区LVA(L...
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