下载MIM电容器的制备方法及MIM电容器的技术资料

文档序号:40676463

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本发明公开了一种MIM电容器的制备方法及MIM电容器,所述MIM电容器包括:衬底,所述衬底上开设有若干背孔;背金层,所述背金层附着在衬底下表面、背孔的侧壁;电容第一极板,所述电容第一极板设在衬底上方,且与附着在衬底下表面的背金层接触;电容第...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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