下载一种螺旋翻搅吹扫的氮化硅原料混合器及其混合方法的技术资料

文档序号:40676271

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本发明涉及氮化硅制备技术领域,具体为一种螺旋翻搅吹扫的氮化硅原料混合器及其混合方法,包括:支架,所述支架上固定安装有混合桶,所述混合桶端部固定有储料桶;中空杆,转动安装在所述混合桶内,所述中空杆上固定有转动套筒;送气管,固定在所述中空杆外壁...
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