下载一种提升光提取效率的Micro-LED器件结构及制作方法的技术资料

文档序号:40675674

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本发明公开了一种提升光提取效率的Micro‑LED器件结构及制作方法,其结构的外延层由背面至正面按序包括n‑GaN层、MQW和p‑GaN层,并通过由正面蚀刻至n‑GaN层形成发光台面,第一电流扩展层设于发光台面的p‑GaN层上,p电极和n电...
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