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一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法技术方案
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下载一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法的技术资料
文档序号:40672661
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本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的透明平板二维测厚系统及方法,宽谱线阵LED光源发出的光线经光纤束传导至狭缝,再通过对称式共焦线色散镜组并在共焦面上发生色散,在透明平板表面聚焦的线形光斑会反射回去,由线成像光谱仪分光,通过微处理器进行光谱...
该专利属于苏州创视智能技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州创视智能技术有限公司授权不得商用。
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