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一种用于芯片制造生产的翻转装置制造方法及图纸
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下载一种用于芯片制造生产的翻转装置的技术资料
文档序号:40668857
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本发明公开了一种用于芯片制造生产的翻转装置,包括翻转机构,以及安装于翻转机构底部的翻转电机,所述翻转机构的两侧设置有输送机构,且输送机构的底部一侧设置有第二升降电机和倾斜电机,所述翻转机构包括翻转固定环,所述翻转固定环的外侧固定安装有翻转齿...
该专利属于南通中镭光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通中镭光电有限公司授权不得商用。
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