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本发明属于机械臂控制技术领域，本发明公开了基于伯努利原理的晶圆转运机械臂控制系统及方法；包括：采集转运数据，转运数据包括晶圆数据和运行数据；对转运数据进行分析，获取晶圆转运过程中所需的吸附力数据；采集影响数据，影响数据包括气泵数据和环境数据...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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