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本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种石英板的焊接方法，提供第一石英板和第二石英板；对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；将焊接件放...
该专利属于上海强华实业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海强华实业股份有限公司授权不得商用。

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