下载一种基于冰模板法的柔性电容式压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:40664136

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本发明涉及一种基于冰模板法的柔性电容式压力传感器及其制备方法。所述柔性电容式压力传感器包括:上电极层、下电极层以及分布在上电极层和下电极层之间的柔性多孔介质层;所述柔性多孔介质层包含具有有序通孔结构的多壁碳纳米管海绵骨架和部分填充且均匀分布...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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