下载用于验证内部小平面之间的平行度的方法和系统的技术资料

文档序号:40663255

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本文公开了一种方法,该方法包括:(i)提供包括标称平行的内部小平面的透光样品,这些内部小平面与样品的外部表面大约正交;(ii)提供光学元件,该光学元件具有大约等于样品的折射率的折射率并包括外部第一表面和相对于该第一表面成锐角地倾斜的外部第二...
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