下载负型感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂的技术资料

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一种负型感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂。本发明的课题是提供一种负型感光性树脂组合物和曝光前的抗蚀层具有碱溶解性,制膜性和密合性优异,且曝光后的抗蚀剂固化物的耐化学药品性优异的干膜抗蚀剂。本发明的解决手段在于提供一种负型感光性树脂组合物,其含有...
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