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光学干涉滤光片制造技术
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文档序号:40655962
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在一些实现方式中,光学干涉滤光片包括衬底以及在衬底上设置的一个或多个层集。每个层集包括:至少包括钽和氧(例如,五氧化二钽(Ta<subgt;2</subgt;O<subgt;5</subgt;)材料)的第一层;至少包...
该专利属于VIAVI科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过VIAVI科技有限公司授权不得商用。
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