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本发明提供了一种晶圆定位抓取下料装置,包括机器人组件,以及连接于机器人组件上的视觉检测组件和抓手;所述视觉检测组件用于获取待下料晶圆上有效区域位置信息;所述抓手用于抓取待下料晶圆,所述抓手包括固定吸盘和移动吸盘,且所述固定吸盘与移动吸盘之间...该专利属于武汉华工激光工程有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华工激光工程有限责任公司授权不得商用。
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