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氮化铝单晶复合衬底的制备方法技术
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文档序号:40636839
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一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法,属于复合材料制备领域。氮化铝单晶复合衬底的制备方法包括:在衬底的表面沉积氮化铝多晶膜层,退火使氮化铝多晶膜层重结晶形成氮化铝单晶膜层,保持退火气氛及退火温度,自衬底背离氮化铝单晶膜层的一侧对衬底进行减薄处理...
该专利属于松山湖材料实验室所有,仅供学习研究参考,未经过松山湖材料实验室授权不得商用。
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