下载一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法及装置的技术资料

文档序号:40629612

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本发明公开了一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法及装置,涉及金刚石抛光技术领域,包括对抛光室内部实施金刚石和抛光液的上料操作,驱动抛光盘运转,对金刚石的表面实施抛光操作,开启供氧单元和紫外发生单元,所述供氧单元对抛光室内部输入氧气,并且将氧气...
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