下载治具及裂片机构的技术资料

文档序号:40612266

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本申请提供了一种治具及裂片机构,包括:基座,具有在表面形成开口的容置腔;吸附结构,具有吸嘴,所述吸附结构设置于所述容置腔内,所述吸嘴用于对工件进行吸附;以及在水平方向上所述吸附结构中均至少有一部分侧壁与所述容置腔的侧壁之间形成有第一间隙,以...
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