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本发明公开了一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，属于掩膜版技术领域。本发明通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测...
该专利属于深圳市龙图光罩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市龙图光罩股份有限公司授权不得商用。

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