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本发明公开了一种基于氩离子蚀刻的金刚石氮空位制备方法，属于量子传感技术领域。本发明方法，包括：基于气相化学沉积系统制备金刚石基底，针对制备的金刚石基底进行第一次清洗，并针对第一次清洗后的金刚石基底进行氩离子蚀刻；针对氩离子蚀刻后的金刚石基底...该专利属于国网新疆电力有限公司营销服务中心（资金集约中心、计量中心）所有，仅供学习研究参考，未经过国网新疆电力有限公司营销服务中心（资金集约中心、计量中心）授权不得商用。