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一种柔性无源光学式压力传感器制造技术
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下载一种柔性无源光学式压力传感器的技术资料
文档序号:40606938
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本发明公开了一种柔性无源光学式压力传感器,包括有从下至上顺次粘接固定的力敏传感器薄膜层、光子晶体微结构层和透明柔性薄膜层,光子晶体微结构层的顶面上设置有光子晶体图案,力敏传感器薄膜层和透明柔性薄膜层之间设置有柔性封装支撑结构,光子晶体微结构...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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