下载一种电子级氟化铵水溶液制备方法的技术资料

文档序号:40606424

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本发明涉及一种电子级氟化铵水溶液制备方法,属于湿电子化学品技术领域。本发明以氟硅酸氨解所得氟化铵水溶液为原料,浓缩结晶得到粗氟化铵固体,再溶于有机溶剂中,重结晶得到ppm级氟化铵固体,然后加热升华,在惰性气流下降温凝结,气固分离得到高纯氟化...
该专利属于多氟多新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过多氟多新材料股份有限公司授权不得商用。

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