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本发明提供了一系列基于多硫鎓盐的新型单分子树脂，即式(I)所示的化合物，其原料便宜易得，合成过程简单。将式(I)所示的化合物作为单组分非化学化合光刻胶，避免了化学放大光刻胶中产酸剂以及防酸扩散剂分布不均匀、酸扩散不均匀等的问题，所得到的图案...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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