下载一种单晶棒结晶界面形貌的分析方法、高质量单晶棒及其应用的技术资料

文档序号:40604877

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种单晶棒结晶界面形貌的分析方法、高质量单晶棒及其应用,所述分析方法包括以下步骤:(1)在单晶硅棒的头部取一晶圆,然后沿着所述晶圆直径的方向取一硅片;(2)将所述硅片沿着长度的方向分成多个等份,检测每一等份的电阻率,得到所述晶圆的...
该专利属于上海超硅半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海超硅半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。