温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种压印装置包括：用于承载柔性印模的第一承载件以及能够相对于第一承载件移动且被配置为承载具有抗蚀剂层的衬底的第二承载件。第二承载件包括卡盘、用于在Z轴方向上平移卡盘的一部分的一组卡盘致动器、围绕卡盘外侧的印模降落设备(例如环)以及用于在Z轴...
该专利属于皇家飞利浦有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。