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本发明提供了一种用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺，涉及多晶硅技术领域。所述汽化系统包括：混合器和汽化器；所述汽化器包括壳体、设置在壳体内部的换热器，以及上进料管和下进料管；所述换热器包括换热管和设置在换热管两端的管板，所述换...
该专利属于浙江赛勒新能源材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江赛勒新能源材料有限公司授权不得商用。

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