下载一种物理气相沉积材料源用稀土氟氧化物陶瓷及其制备方法的技术资料

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本发明属于稀土氟氧化物材料领域,具体涉及一种物理气相沉积材料源用稀土氟氧化物陶瓷及其制备方法,包括如下步骤:将稀土氧化物、稀土氟化物原料粉体预处理至纳米级;将原料粉体按照一定配比混合球磨、干燥、过筛形成混合均匀粉体;再压制成陶瓷坯体,于40...
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