下载高陡度镜面的离子束抛光方法的技术资料

文档序号:4059291

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本发明公开了一种高陡度镜面的离子束抛光方法,包括以下步骤:(1)测算镜面各点的入射角θ;(2)根据模型确定各点的补偿系数K;(3)利用干涉法测定工件的初始面形误差E;(4)根据K对E进行补偿得到补偿面形误差E′;(5)通过去除函数实验获得离...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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