下载一种基于Halbach阵列的宏微双级线性驱动器的技术资料

文档序号:40592080

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本发明涉及一种基于Halbach阵列的宏微双级线性驱动器,涉及精密定位领域,具体包括支架模块、宏级驱动模块和微级驱动模块,支架模块通过螺钉与同轴装配的宏微双级驱动模块相连,微级驱动模块嵌套在宏级驱动内部,保持一体化同轴直线运动;由计算机向运...
该专利属于安徽理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽理工大学授权不得商用。

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