下载晶体生长载晶架及晶体生长方法的技术资料

文档序号:40591884

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本发明公开了一种晶体生长载晶架及晶体生长方法,包括上板、下板、支撑板以及与外部动力机构连接并带动晶体生长载晶架转动的连接结构;支撑板设置在上板与下板之间,下板的上表面设置有沟槽结构。本发明通过在晶体生长载晶架的下板上表面设置沟槽结构,晶体生...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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