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本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种应用于AMHS系统的清洁机器人、及控制方法，本设计的清扫机器人的清扫组件包括第一维护部、第二维护部和采集部，所述第一维护部位于所述载体两侧，用于对轨道上大颗粒杂质进行收拢，所述第一维护部通过角度调节组...
该专利属于华芯（嘉兴）智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华芯（嘉兴）智能装备有限公司授权不得商用。

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