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本发明公开了一种基于微透镜浮雕光栅的PCSEL复合芯片及制备方法，其外延结构包括自下而上依次设置的N型电极、N型InP衬底、N型Al<subgt;x1</subgt;In<subgt;1‑x1</subgt;As下限...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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