下载光电探测及传感一体化的数字超表面红外光谱芯片及制备方法的技术资料

文档序号:40578708

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本发明涉及痕量分子检测技术领域,具体涉及一种光电探测及传感一体化的数字超表面红外光谱芯片及制备方法。包括自下而上依次设置的衬底、金属反射层、金属纳米颗粒层、热释电光敏层和数字超表面结构层;所述数字超表面结构层在器件的横切方向上呈像素阵列组成...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。

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