下载紫外发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管的技术资料

文档序号:40576465

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本发明公开了一种紫外发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管,涉及半导体光电器件领域。紫外发光二极管外延片包括衬底和依次设于衬底上的缓冲层、非掺杂AlGaN层、N型半导体层、多量子阱层、电子阻挡层、P型半导体层和P型接触层,所述电子阻挡层包...
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