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一种轻便型面接触式防污石英舟，包括石英分隔挡杆、左Ｕ形连接件、中间Ｕ形连接件、右Ｕ形连接件、把手和防污挡板，石英分隔挡杆和左右Ｕ形连接件围合成硅片承载框架，所有Ｕ形连接件的底部均为平面，在石英分隔挡杆上开设有斜置的硅片卡槽，且其上口设有扩展...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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