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本申请涉及一种精密基板气浮输送系统及方法，该系统包括包括：吸附输送组件，吸附输送组件包括沿输送方向运动的吸附端；气浮支撑组件，气浮支撑组件包括气浮台，气浮台的气浮面在输送方向上依次包括第一输送区、精密区和第二输送区，精密区在输送方向上分为多...
该专利属于武汉国创科光电装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉国创科光电装备有限公司授权不得商用。

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