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本发明提供一种图像传感器的形成方法、图像传感器以及成像装置,所述图像传感器的形成方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括像素区与外围电路区;于所述像素区与所述外围电路区之间,从所述半导体衬底背面形成通孔隔离结构,用于隔离所述外围电路区产...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种图像传感器的形成方法、图像传感器以及成像装置,所述图像传感器的形成方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括像素区与外围电路区;于所述像素区与所述外围电路区之间,从所述半导体衬底背面形成通孔隔离结构,用于隔离所述外围电路区产...