下载一种引入表面正电荷的平面PIN二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:40558876

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本发明涉及一种引入表面正电荷的平面PIN二极管及其制备方法,二极管包括:衬底层、外延层、P+阱、N+阱和介质层;所述外延层位于所述衬底层的上表面;所述P+阱由所述外延层的上表面延伸至所述外延层的内部;所述N+阱由所述外延层的上表面延伸至所述...
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