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本发明属于靶材加工技术领域，公开了一种靶材的加工方法。包括以下步骤：（1）采用平面树脂金刚石砂轮对靶材的上、下表面进行粗加工；（2）采用圆柱树脂金刚石砂轮对靶材的侧边进行加工；（3）采用槽面树脂金刚石砂轮对靶材的侧边槽面进行加工；（4）对靶...该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。
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本发明属于靶材加工技术领域，公开了一种靶材的加工方法。包括以下步骤：（1）采用平面树脂金刚石砂轮对靶材的上、下表面进行粗加工；（2）采用圆柱树脂金刚石砂轮对靶材的侧边进行加工；（3）采用槽面树脂金刚石砂轮对靶材的侧边槽面进行加工；（4）对靶...