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本申请实施方式提供了一种表面超导线路的制造方法和超导量子芯片。所述方法包括：提供具有至少一个通孔的衬底；其中，所述衬底至少一个表面以及所述通孔孔壁上形成有互连的超导层；在所述衬底表面的超导层上形成图形化硬掩模层；其中，所述通孔位于所述图形化...
该专利属于本源量子计算科技（合肥）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过本源量子计算科技（合肥）股份有限公司授权不得商用。

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