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本发明提出了一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法，属于气体传感器的技术领域，用以解决MEMS电化学气体传感器密封性差的技术问题。本发明传感器包括上芯片下芯片，上芯片键合在下芯片上方；微腔、进气孔、工作电极，工作电极有一部...
该专利属于郑州炜盛电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州炜盛电子科技有限公司授权不得商用。

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