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一种评估样品的感兴趣区域的方法，包括：将样品定位在评估工具的真空腔室内，该评估工具包括扫描电子显微镜(SEM)柱和聚焦离子束(FIB)柱；通过交替使用来自FIB柱的带电粒子束将感兴趣区域去层和使用SEM柱对感兴趣区域的表面成像的序列来获取感...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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