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本发明涉及微机电制造技术领域，公开了一种电容间隙自适应微半球谐振子及其装配夹具和方法，该微半球谐振子包括半球体和锚柱，所述锚柱设于半球体中心，所述锚柱远离半球体一端为锚点平面，半球体端面为唇沿，其特征在于，锚柱伸出唇沿一定长度，从而使得锚点...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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