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本发明涉及检测装置以及检测方法。检测进行检查的被检查物的位置偏移。检测装置具备：激光传感器，处于供给被检查物的供给部(22)与检查上述被检查物的检查部(26)之间；以及测定部，使用上述激光传感器对沿着从供给部(22)朝向检查部(26)的搬运...
该专利属于拉碧斯半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过拉碧斯半导体株式会社授权不得商用。

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