下载一种垂直腔面发射激光器外延结构的技术资料

文档序号:40548873

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本发明公开一种垂直腔面发射激光器外延结构。所述外延结构从下到上依次包括:衬底、缓冲层、第一高折射率差AlGaAsDBR层、第一低折射率差AlGaAsDBR层、下AlGaAsP过渡层、下AlGaInPDBR层,下AlGaInP垒层、GaInP...
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