下载单壁碳纳米管水平阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:40541065

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本发明公开一种单壁碳纳米管水平阵列及其制备方法。其制备方法,包括:S1,对单晶蓝宝石基底表面进行重构;S2,通过离子注入将催化剂前体注入经过重构的单晶蓝宝石基底;及S3,将经过离子注入后的基底放置于竖直喷淋化学气相沉积设备中,使其垂直于竖直...
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