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本发明公开了一种电压正负连续可调的静电夹盘及其装置和方法，该静电夹盘包含：基座；电压控制模块；设置于基座上的介电层，其用于承载晶圆，介电层内在竖直方向层叠布置有第一电极和第二电极，其中，电压控制模块控制第一电极与第二电极的极性相反，随着等离...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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