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一种抗蚀剂底层膜形成用组合物，含有：金属化合物；聚合物，具有下述式(1)所表示的第一结构单元及下述式(2)所表示的第二结构单元；以及溶媒。(式(1)中，R<supgt;1</supgt;为氢原子、或者经取代或未经取代的碳数1～2...
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